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检测内容 :平行度、平面度、高差、长宽、间隙检测 被测产品尺寸范围 :17mm(L)*3.9mm(W)(可根据需求定制) 机台整体定位精度:5μm 机台最快运行速度:5m/s 机台最大加速度:30m/s² 检测时间:1.8s 检测重复性精度(静态):5μm
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Technical Specification
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